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PECVD系統(tǒng)爐

簡要描述:PECVD系統(tǒng)爐即等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積爐,是一種基于等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)的薄膜沉積設(shè)備,是一款三溫區(qū)開啟式管式爐,其最高溫度可以達(dá)到1200℃(1200℃<1H)。

  • 產(chǎn)品型號:OYS-1200C-Ⅲ
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-10-31
  • 訪  問  量:507
詳細(xì)介紹
品牌HF.weiyuansu升溫速度(達(dá)到最高溫)≤5/min
加熱方式鐵鉻鋁合金絲最大功率7.1kW
控溫精度±1℃最高溫度1200℃
價格區(qū)間面議儀器種類管式爐
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,地礦,冶金,航天,綜合
長期使用溫度1100℃可選管徑φ50、φ60、φ80、φ100、φ130

CVD系統(tǒng)(高真空)PECVD系統(tǒng)爐

OYS-1200C-Ⅲ+GYS-3Z+OYS-300F+(真空連接配件)

OYS-1200C-Ⅲ——翻蓋爐

一款三溫區(qū)開啟式管式爐,其最高溫度可以達(dá)到1200℃(1200℃<1H)。爐管為高純石英管。設(shè)備配有一對不銹鋼密封法蘭,可以在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對樣品進(jìn)行熱處理。CVD系統(tǒng)(高真空)PECVD系統(tǒng)爐對于控溫系統(tǒng),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度±1℃。

技術(shù)資料

產(chǎn)品型號

翻蓋爐  OYS-1200C-Ⅲ(φ50、φ60、φ80、φ100、φ130)

主要產(chǎn)品參數(shù)

電源:220V  50/60Hz

額定功率:7.1 KW

最高工作溫度:1200℃(<0.5 h)

連續(xù)工作溫度:1100 ℃

推薦升溫速率:≤10℃/min

加熱區(qū)長度:加熱區(qū)長度:900mm(三個溫區(qū)段都為300mm)

熱電偶:K型

外形尺寸:1675mm*645mm*865mm

爐體結(jié)構(gòu)&溫控

爐體結(jié)構(gòu)&溫控:采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng);爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維作為材料,減少能量損失;內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可以提高反射率及設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命;三個溫區(qū)分別有三個獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制;包含一款YD858型溫度控制器;PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能;控溫精度±1℃;默認(rèn)DB9PC通信連接端口;可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

加熱元件

鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb

爐管尺寸

石英管口徑可選φ50、φ60、φ80、φ100、φ130

真空密封

標(biāo)配:一對不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈

選配:為了更快的獲得較高的真空度,建議使用KF25的不銹鋼法蘭、不銹鋼波紋管和數(shù)字式真空顯示計

法蘭接口

為了得到較好的真空狀態(tài)出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉(zhuǎn)接頭與波紋管相連接;多種接頭可選,具體請咨詢我公司銷售經(jīng)理

真空度

采用雙旋片式機(jī)械真空泵真空度可以達(dá)到10-2torr;如您想獲得更高的真空度(<10-5torr or better)可選國產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組

可選

本公司還可以提供防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8*105至1125torr,不需因測量氣體種類不同而需要轉(zhuǎn)換系數(shù)

認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件

CE、UL等認(rèn)證,核心零部件有ABB、歐米茄、東明等采用ABB電器元件

售后

質(zhì)保期一年,終身維護(hù);24小時在線服務(wù)

注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不得高于0.02MPA;由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等);氣體的流量應(yīng)限制在<200 SCCM(或200ml/ min)

免責(zé)聲明

本產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等) 僅供參考。如果您對參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息,請與我司銷售人員聯(lián)系。本信息不構(gòu)成任何要約或承諾,我司會不定期完善產(chǎn)品,恕不另行通知,請您見諒

 

質(zhì)子供氣系統(tǒng)GYS-3Z參數(shù)表是一款低成本的流量計控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜最大可以承重1000Lbs,與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將管式爐置于移動柜上上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀本示都集中在一個7寸的LCD觸摸屏上,便于操控的同時,可實(shí)時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料接種CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。

 

一、OYS-300F風(fēng)冷分子泵機(jī)組參數(shù)表產(chǎn)品簡介

此機(jī)組為風(fēng)冷機(jī)組無需冷卻,本機(jī)組極限真空5*10-5Pa ,充分考慮到實(shí)驗(yàn)室及一些研究院所的使用條件,大大方便了客戶的使用范圍,本產(chǎn)品為一鍵啟動模式,大大降低了對使用者的專業(yè)要求。JTFB-300F分子泵為抗沖擊型。

二、技術(shù)資料

產(chǎn)品型號

GYS-3Z

產(chǎn)品參數(shù)

電源:220V 50/60HZ

額定功率:23 W

流量計范圍:1-100SCCM;1-200SCCM;1-500SCCM

有一機(jī)械壓力表安裝在前面板上,與混氣管相連接

壓力表量程:-0.1~0.15MPa

混氣罐尺寸: φ80*120mm

氣口/閥門

內(nèi)部連接管道為Ø6.35

產(chǎn)品尺寸

外形尺寸:長610mm*寬610mm*高710mm

重量

約30KG

產(chǎn)品特點(diǎn)

適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多重氣體的切換使用,而不會造成大氣進(jìn)入加熱管

氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實(shí)用,操作簡便

采用觸摸屏來控制氣體的流量,顯示流量準(zhǔn)確,方便操作

所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸

 

 

 

 

 

 
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